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技術數據
型號 EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200
排量（工作容積） 310 m3h-1 / 185 ft3min-1 505 m3h-1 / 300 ft3min-1 1195 m3h-1 / 715 ft3min-1 2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速 240 m3h-1 / 141 ft3min-1 350 m3h-1 / 206 ft3min-1 840 m3h-1 / 495 ft3min-1 1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的壓力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250
出口連接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100
轉速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr
較大出口壓力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80，E2M80 GV160、GV250、
E2M80、E2M175 GV250、GV400、
E2M175、E2M275 GV400、E2M275
電機功率
碳氫化合物 2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp
