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統(tǒng)主要由真空室、泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由維持泵、機械泵
、羅茨泵、擴散泵構成。閥門包括前級閥、旁路閥、維持泵閥和高閥組成，各閥門均
為氣動閥，由PLC控制氣動閥進行控制。
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