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機臺名稱：等離子體清洗機
機臺型號：PLAUX-PR06L
整機規格：980mm(W)×900mm(D)×1620mm(H)
電極規格：6層平板式電極板（420mm×360mm）
電源系統：13.56MHz等離子體發生源（500W，全自動阻抗匹配）
控制系統：觸摸屏 PLC自動控制
進氣系統：2-5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和的技術支持。
用途：適用于LED、LCD、SMT領域，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業等。
★LED、LCD、SMT領域：LED打線、IC封裝前的清洗，LCD制造工藝中清洗偏光片、
排線基位，電子元器件、光學元器件表面的清洗。
★硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
