規格參數:
機型
SJ-210
SJ-301
SJ-401
SJ-402
驅動器
測量長度
12.5mm
12.5mm
25mm
50mm
測量速度
0.25、0.5mm/s
0.05、0.1、0.5、1.0mm/s
直線度
0.3um/25mm
0.5um/50mm
定位
±1.5°(傾角)10mm(向上/向下)
檢測器
范圍/分辨率
350um(-200um到+150um)
800um/0.01um 80un/0.01um 8um/0.001
檢測方法
有軌測量
無軌/有軌測量
測力
4mN或0.75mN
測針針尖
金剛石 90°/5umR 60°/2umR
導頭曲率半徑
40mm
類型
差動電感式
電源
通過AC適配器/可充可充電鎳氫池
數據輸出
通過RS-232C端口/SPC輸出
記憶卡
記憶卡
存儲調用測量條件、存儲調用取樣數據
存儲調用統計數據、存儲評估數據
尺寸
控制器
156.5x62x52mm
307x165x94mm
307x165x94mm
高度傾角裝置
-
-
131x63x99mm
驅動器
115x23x26mm
128x36x47mm
155x36x47mm