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去離子水定義
去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式雜質后的水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。在半導體行業中，去離子水被稱為“超水”或是“水”。
去離子水分類
通常去離子水可以分為4類：
A類:去離子水只要求將水中離子去除一大部分，使水得以凈化，種類去離子水電導率通常在200-10μs；
B類:去離子水電導率通常在1-10μs，屬于食品級別；
C類:去離子水電導率通常在0.1-0.9μs，屬于精細工業級別；
D類:去離子水電導率通常在0.07μs以上，屬于電子級別。
