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超水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
超水設備又稱做：超水器，超水機，超水儀，超水系統，實驗室超水器等。 超水機所生產的超水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超水。一般超水出水能達到18.25兆歐。
[1]超水設備工藝流程
1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→水箱→水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)
2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→化水箱→水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(新工藝)
3、預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→水箱→水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(新工藝)
4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→水箱→水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(新工藝)
5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)
以上工藝各有各的優勢，你可以根據你自身的情況選購適合你的工藝。隨著科學的發展，很多新的工藝已經替代了舊的工藝，目前用反滲透法制取水已經普及，也是為現今的工藝。超水設備應用領域
主要應用于光伏太陽能；多晶硅/單晶硅清洗；芯片；半導體、觸摸屏，微電子等產品表面清洗；是與超聲波配套使用的設備
