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測量型金相顯微鏡
產品用途
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像與目視的高精度、率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工業領域。
產品特點
● X、Y、Z軸0.5μm分辨率；
● 高精度非接觸式光測高度量測模塊；
● Z軸粗調/微調旋鈕；
● 同軸表面光/底光測量；
● 內建偏光量測光學模塊；
● 可量測透明材質納米級高度差
技術參數
規格型號 MTM-1510M MTM-2010M
工作行程X、Y、Z軸 150*100*120（mm） 200*100*120（mm）
光學尺分辨率 0.5μm
示值誤差 X、Y坐標≤（3 L/75）μm （L為測量長度，單位mm）
影像系統 彩色1/2¨CCD攝像機；640*480像素；結合測量軟件
顯微鏡系統 目鏡：10倍
濾光片：紅，藍，綠，白
測量模式：反射，透射，偏光
5孔物鏡轉換器
照明系統 透射照明光源：白光LED，亮度可調
同軸照明光源：鹵素燈，亮度可調
物鏡
倍率 5X 10X 20X 30X
工作距離（mm） 20.0 18.3 8.8 2.0
高度量測模塊（選配件） 光干涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配）
倍率：10X，工作距離5mm，光學分辨力2μm
其它參數
外形尺寸（mm） 590*560*850
儀器重量（kg） 100 110
電源功耗 110V—220V 50/60Hz <60W
