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日本ULVAC在提供各種真空設備的同時，還提供各種真空泵，真空計測，氦氣質樸檢漏儀等各種真空配套設備。同時提供優良的售后服務。低溫泵也是優勢產品之一。
型號 PMB-001C,CM PMB-003C,CM PRC-003A PRC-006A
排氣速度 50Hz 95 280 280 500
(m3/h(L/min)) (*1) (1580) (4670) (4670) (8330)
60Hz 115 330 330 600
(1920) (5500) (5500) (10000)
吸氣口較大壓力 50Hz 9.3 x 103 1.2 x 103 1.3 x 103
(Pa; PMB-C only)(*2) 60Hz 6.2 x 103 9.3 x 103 1.1 x 103
較大容許壓力 50Hz 8.0 x 103 4.0 x 103 7.3 x 103
(Pa; PMB-C only)(*2) 60Hz 5.6 x 103 3.3 x 103 6.0 x 103
到達壓力 (Pa) (*3) 4.0 x 10-1
驅動壓力(Pa) to 1.0 x 105 (PRC-A,PMB-CM)
功率 (kW) 0.4(2) 0.75(2) 2.2(2)
(number of poles) (*5)
油 (*6) ULVOIL R-4
油量(L) 0.35 0.7 1.5
冷卻水 Cooling method Air-cooled Air-cooled, water-cooled Water-cooled
Primary pressure - 0.3
(MPa)
Outlet/inlet differential - 0.05 0.01
pressure
(MPa)
Flow rate - 2
(l/min)
Temperature - 5 to 30
(
