德國NanoPhotonics公司表面缺陷檢測系統
產品概述
德國NanoPhotonics公司成立于1997年,其設備主要用于半導體生產中裸芯片表面,邊緣,背面的沉積材料及基片的缺陷探測,可用于基板如檢測掩模板(光罩)上的顆粒、劃痕、缺陷、微米級粗糙度等。
產品特點
REFLEX TT桌上型手動缺陷檢測系統
1. 65nm微粒靈敏度
2. 激光暗區域測量技術
3. 一級潔凈環境
4. 可選晶圓工作臺
5. 集成迷你PC和平板顯示器
6. 離線分析
7. 工業標準
8. 自動化軟件
技術參數
適用不同底材和尺寸
-光罩基板尺寸:2.5¨×2.5¨—8¨×8“
-晶圓尺寸:2¨—12¨
應用材料
硅片、玻璃、復合半導體材料、透明薄膜、金屬薄膜、單晶硅和多晶硅等