一、機器用途:
4/6型晶片擴張機(擴片機)被廣泛應用與發光二極管、中小型功率三極管、背光源、LED、集成電路和一些特殊半導體器件生產企業內的晶粒擴張工序。
二、機器特點:
①采用雙氣缸上下控制;
②恒溫設計,膜片周邊擴張均勻適度;
③加熱,拉伸,擴晶,固膜一次完成;
④加熱溫度,擴張時間,回程速度均勻可調;
⑤操作簡便,單班產量大;
⑥機器外型見實物。
整機采用高品質零部件,所有加工部件都是用高強度鋁合金及不銹鋼制造。確保設備的耐久性。
三、技術參數:
1、電源電壓:220VAC(50Hz)士10%;
2、工作氣壓:4-6Kg/cm2:;
3、溫度范圍:室溫~350℃;
4、上氣缸行程:150/200mm;
5、下氣缸行程:100mm(可雙向調節);
6、擴張面積:120/270cm2;
7、外型尺寸:270x220x820mm(長x寬x高);
8、機器重量:20Kg
四、操作步驟:
1,插上電源,氣管快速接頭接上高壓氣管;2,打開電源開關,將溫度設定于75℃(不同晶片膜溫差異士5℃);3,將上氣缸開關撥至“上升”位置,上壓模回至上方,將下氣缸開關撥至下降位置,下壓模回至下方(反復幾次下氣缸動作,將上升速度調整至適合速度)4,松開鎖扣,掀起上工件板,先將擴晶環內環放于下壓模上,再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央,晶片朝上,將上工件板蓋上,鎖緊鎖扣。5,將下氣缸開關撥至“上升”位置,下壓模徐徐上升,薄膜開始向四周擴散,晶粒間隔逐漸拉大,當晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升,將擴晶環外環圓角朝下平放在薄膜與內環正上方。6,將上氣缸開關撥至“下降”位置,上壓模下降,將擴散后的翻晶膜套緊定位,上壓?;刂辽戏健?,將下氣缸開關撥至“下降”位置,下壓模下降至下方,取出擴晶完畢的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序備膠固晶。
五、維護保養:
1、用干凈布塊擦拭附著灰塵,活動部位定期涂少許機油潤滑;
2、放置翻晶膜的位置必須干凈,附著的油脂及灰塵會污染晶片,造成不良品產生。