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ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀是法國ALCATEL-ADIXEN公司新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質(zhì)譜檢漏儀器。
氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。
二 系統(tǒng)配置:
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主要包括以下器件:
序號
設備名稱
序列號
數(shù)量
1
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主機（包括一臺機械泵、一臺分子泵、一個質(zhì)譜室、信號放大器等儀器必須的部件。）
T0R00000B810
一套
2
ALCATEL 120號油（2升/桶）
068099
1桶
3
燈絲 FILAMENT
053146
1個
三 技術規(guī)格:
靈敏度：
3.0×10-11mbar.l/s
漏率顯示范圍：
2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
達到檢漏的時間（空盒時）：
小于30秒
發(fā)射電流顯示：
0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速：
1.3升/秒
啟動時間：
小于5分鐘
接口尺寸:
DN 25 KF
外觀尺寸：
510
