產品分類 更多>>
ASM142氦質譜檢漏儀
ASM142氦質譜檢漏儀是法國ALCATEL-ADIXEN公司新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質譜檢漏儀器。
氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。
二 系統配置:
ASM142氦質譜檢漏儀主要包括以下器件:
序號
設備名稱
序列號
數量
1
ASM142氦質譜檢漏儀主機（包括一臺機械泵、一臺分子泵、一個質譜室、信號放大器等儀器必須的部件。）
T0R00000B810
一套
2
ALCATEL 120號油（2升/桶）
068099
1桶
3
燈絲 FILAMENT
053146
1個
三 技術規格:
靈敏度：
3.0×10-11mbar.l/s
漏率顯示范圍：
2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
達到檢漏的時間（空盒時）：
小于30秒
發射電流顯示：
0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速：
1.3升/秒
啟動時間：
小于5分鐘
接口尺寸:
DN 25 KF
外觀尺寸：
510
