化水設備/水設備項目工程/超水設備/水反滲透/反滲透設備
醫藥用超水的水質標準
1、2000版藥典標準
2、GMP標準
3、電阻率:≥15MΩ.CM
4、電導率:≤0.5μS
5、氨≤0.3μg/ml
6、硝酸鹽≤0.06μg/ml
7、重金屬≤0.5μg/ml
三種制備醫藥行業用超水的工藝比較
目前制備電子工業用超水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面:
1、種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超水經濟,用來制取超水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超水,對環境沒破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
3、第三種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
電子工業超水描述
半導體,集成電路芯片及封裝,液晶顯示,高精密電路板,光電器件,各種電子設備,微電子工業,大規模,超大規模集成電路需要大量的水,超水洗半成品。集成電路的集成度更高,水質的要求更高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
電子工業超水的工藝流程
1、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混11床(復床)→水箱→水泵→后置精密過濾器→用水點