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產(chǎn)品推薦
EUV(極端紫外光)【13.5nm】
「EUV」（Extreme Ultraviolet 極端紫外光源）是美日歐新開發(fā)，并引起大眾注意的新一代半導(dǎo)體曝光用光源。。在日本研究開發(fā)國(guó)家計(jì)畫的「EUVA」方面、GIGAPHOTON 一同參與推動(dòng)EUV的開發(fā)。此外，具有歐洲研究開發(fā)力的德國(guó)XTREME 納入集團(tuán)，透過(guò)日歐堅(jiān)強(qiáng)的合作開發(fā)體制，以及早期達(dá)成事業(yè)化為目標(biāo)加速開發(fā)。
※有關(guān)EUV的咨詢，請(qǐng)參閱GIGAPHOTON Inc.或是XTREME technologies GmbH （英文）。
開發(fā)產(chǎn)品
2003年 DPP光源 XTS13-15
